擴散硅壓力傳感器的溫漂如何產生的呢?下面小編給大家淺析一下關于擴散硅壓力傳感器的溫漂如何產生?問題,供大家參考學習,希望對大家的工作和學習有所幫助。
在學習和使用壓力傳感器的過程中,我們經常聽到“溫漂”這個詞,那么什么是溫漂,壓力傳感器的溫漂是如何產生的?
溫度漂移:是指由溫度引起的零點不穩定性。
擴散硅壓力傳感器的溫度漂移主要來自兩個方面:
首先是零件本身的溫度漂移;第二是零件本身的溫度漂移。
第二方面是傳感器在膨脹過程中產生的應力。傳感器的核心設備是壓力芯片。壓力芯片本身對溫度更敏感,并且會隨著溫度的變化產生一定程度的漂移。另外,在包裝過程中,傳感器需要填充硅油,以便將力從壓力膜片傳遞到壓力芯片,硅油在溫度變化,熱膨脹和冷收縮下,導致一定的應力,該應力作用在壓力芯片上,導致傳感器漂移;芯片和壓力用膠水和傳感器底座連接在一起,由于壓力和傳感器芯片底座是兩種不同的材料,具有不同的膨脹系數,因此兩種材料之間的溫度變化在不同的膨脹系數下也會產生一定量的應力,導致一定的溫度漂移,這是擴散的硅壓力傳感器溫度漂移的主要來源。
至于在一定程度上減少壓力傳感器的溫度漂移,技術人員在壓力傳感器的設計過程中,應盡量減少充油芯體的體積,以減少充油量,在芯片粘結壓力的過程中,嘗試選擇合適的膠水,以減小粘結應力,傳感器基礎材料的選擇,要考慮與芯片壓力,類似材料的膨脹系數有關,從而減少了溫度漂移的產生。
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